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欧姆龙光电传感器在晶圆测试系统中的成功应用

文章来源:广州鼎悦电子科技公司 人气:129 发表时间:2021-06-10 20:14:08

由于目标检测物晶圆的颜色和反光率存在差异,常规的漫反射型传感器无法实现可靠检测。而欧姆龙B5W-LB系列限定反射型传感器具备背景抑制功能,检测结果只与检测距离有关,与晶圆表面的颜色和反光率无关,因此可有效、精准识别传送带上的晶圆通过情况。

应用场景如图所示1:晶圆通过检测


可了解欧姆龙B5W-LB系列限定反射型传感器的特点,由此可知:

不易受颜色和材质影响的限定反射型镜面、黑色、透明物体也都会检测出来

< 颜色的稳定性 >

稳定检测镜面、黑色及透明物体等各种物体

不受背景影响,切实检测希望检测的物体

< 距离的稳定性 >

检测范围广,因此耐物体位置偏移强

不易受外部干扰影响的设计

备有模拟电压输出和数字输出

备有55mm和10mm的检测距离

应用场景如图所示2:晶圆在场检查定位


欧姆龙EE-SX系列槽型对射光电传感器,检测距离1-15mm可选,响应速度小于1ms,具分辨率高,备NPN 、PNP常开常闭可选,且安装形式丰富。



 

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