欧姆龙B5W-LB限定反射型传感器在晶圆测试领域的应用-特别公告-广州鼎悦电子科技公司

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欧姆龙B5W-LB限定反射型传感器在晶圆测试领域的应用

文章来源:广州鼎悦电子科技公司 人气:129 发表时间:2021-06-10 19:57:05

本文由广州鼎悦电子分享欧姆龙B5W-LB限定反射型传感器在晶圆测试领域的应用,那么首先我们来了解下什么是晶圆测试?晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测,在检测头装上以金线制成细如毛发之探针,与晶粒上的接点接触,测试其电气特性,不合格的晶粒会被标上记号,而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时,标有记号的不合格晶粒会被洮汰,不再进行下一个制程,以免徒增制造成本。

下面正式带大家了解欧姆龙B5W-LB限定反射型传感器在晶圆测试的应用:

特点: 

1全性卓越的LED

以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。B5W-LB成功使用LED光源。确保操作人员安全。

2亦可检测玻璃晶圆

B5W-LB以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。


3可检测涂氮晶圆

氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。

40.5ms的高速反应

实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。

5基于欧姆龙软技术的高精度位置检测

利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。B5W-LB的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。


6、安装方式灵活

传感器可以从正下方引出电缆,备有两向螺钉安装孔位,可根据实际情况灵活安装。


7内置放大器的小巧、轻盈型

尺寸为宽度13mm×厚度8.4mm×进深20mm,质量约为1.6g的小巧、轻盈型。





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